二手 TEGAL 901e #9016256 待售

TEGAL 901e是Si、SiO2和GaAs等大面积基材光刻加工的高性能蚀刻器/灰化器。这种组合蚀刻器/asher是基于一种高效、低压的侧壁注射等离子体源，使用共振降低蚀刻气体消耗，从而最大限度地减少污染，减少晶圆加工所需的时间。TEGAL 901 E具有广泛的等离子体参数，如压力设置、气流设置和射频功率设置，使用户能够优化其工艺参数，提高其产品的蚀刻速率和质量。蚀刻器/asher还提供了出色的均匀性,以及精确、高质量的蚀刻。此外，901e能够使用常规湿化学蚀刻剂进行不能进行的光敏处理。901 E配有集成诊断,可让用户实时监控流程状况。这些诊断参数包括蚀刻速率和质量、射频功率、真空压力和气流。该系统为用户提供增强的过程控制,并允许优化其过程以提高吞吐量和产量。TEGAL 901e还在整个基板上提供了高度的过程均匀性，由于高效、低压的侧壁注射式等离子体源设计。此功能在处理较大的基材尺寸时特别有用,与传统的湿化学蚀刻剂相比,使用户能够获得更多的晶圆批次。TEGAL 901 E采用双室设计，为需要表面处理和灰度处理的蚀刻工艺提供了一个优越的平台。Ashing chamber can be switched from a hot to cold mode,允许用户在蚀刻和Ashing进程之间以最短的设置时间进行切换。901e除了具有灰化能力外，还为蚀刻工艺提供精确的定时和流量控制。901 E是要求苛刻的工艺（如光刻处理和其他光掩模及蚀刻要求）的理想蚀刻器/灰化器。TEGAL 901e具有先进的特性和高性能,是一种可靠且经济高效的大面积基板蚀刻和灰化解决方桉。