二手 TEGAL 901e #9071867 待售

製造商
TEGAL
模型
901e
ID: 9071867
In-Line Single Wafer Plasma Etcher, 4" - 6" Cassette to cassette Currently configured for 6" wafers Super Spatula transport Generator: ENI ACG-10B Monitor: Dec VT 520 MFC's: UNIT 8100 Atmospheric sensor for venting Temperature controller: choice of Neslab or Tek-Temp Dry pump: Edwards QDP40 208V, 3 phase.
TEGAL 901e是在半导体工业中广泛使用的最先进的蚀刻器/asher。它是市场上用途最广泛、功能最强大的灰烬之一,能够执行广泛的任务,从蚀刻到灰泥。TEGAL 901 E可靠且经济实惠,其功能使其成为各种不同应用程序的完美解决方桉。901e具有许多特点,使其成为所有类型的蚀刻和灰泥的绝佳选择。它提供了各种各样的气体,其中包括氙气和氧气,以及各种蚀刻和灰化操作的理想温度范围。901 E还具有高效的电源和泵,可在整个工作区域提供稳定的气流甚至温度。此外,TEGAL 901 e还具有许多安全功能,例如温度、气体和压力传感器,以及颗粒浓度过滤器。TEGAL 901 E具有多种蚀刻和灰化技术,如自旋蚀刻、化学机械抛光、化学蚀刻和化学机械抛光。901e也能进行湿蚀刻工艺,因为它可以与湿板凳集成,以增加便利。为方便进行高效的蚀刻和灰化操作,901 E采用了用户友好的PC控制系统。该系统提供了广泛的功能,包括温度、压力和其他可定制的实时更新参数的实时图表。TEGAL 901e还提供了多种配方和诊断程序以帮助确保其正常运行,以及用于快速原型制作和产品测试的配方上载功能。为确保最高质量的工作和准确性,TEGAL 901 E配备了大型梯田工作空间,方便样品材料的移动。901e还具有气体探测器和紧急空气泄漏等多项安全功能,既保护操作员,也保护蚀刻和灰化操作。901 E是任何类型的半导体蚀刻和灰化操作以及其他更一般的应用的理想蚀刻器和灰化器。TEGAL 901 e高效、精密的设计,以及用户友好的PC控制系统,使其成为各种不同蚀刻和灰化操作的绝佳选择。
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