二手 TEGAL 901e #9072033 待售

TEGAL 901e是设计用于半导体制造的最先进的Asher/Etcher。该设备采用自动化操作，用户可以快速准确地蚀刻和粉刷各种尺寸和材料的晶片。TEGAL 901 E利用高频感应（HFI）技术实现了高质量的蚀刻速率和双面化学灰化能力,满足了广泛的灰化要求。该系统还具有10nm的精度,既满足蚀刻要求,也满足asher要求。901e的鲁棒性能来源于其先进的晶圆处理单元，该单元包括一个配备自动化工具头的先进工艺室和一个集成气体分发器机器。这允许用户使用激光创建非常精确的模式,并确保最高级别的可重复性、准确性和吞吐量。此外，该工具还利用先进的真空资产实现了高效和可重复的真空压力设置和顺序。901 E具有高级控制软件包,允许用户手动或自动监视和控制所有进程参数。该型号还具有自动化晶片处理功能，允许用户同时进行Etch和asher多达四个晶片，从而实现快速高效的大批量生产。集成的高精度闭环晶圆对准设备可实现精确的对准精度。TEGAL 901e由高级材料和组件构成，使其具有很高的可靠性和耐用性。该系统设计方便用户和维护,具有易于使用的软件界面以及先进的机械和电气安全系统。总之，TEGAL 901 E是一种高度先进的Asher/Etcher，能够针对各种半导体制造要求产生准确和可重复的结果。凭借其先进的晶圆处理单元、闭环晶圆对准机和自动晶圆处理能力，该工具旨在满足各种半导体应用的高吞吐量和精度要求。