二手 TEGAL 901e #9181762 待售

TEGAL 901e是一种用于光刻和薄膜沉积技术的最先进的蚀刻/asher设备。该系统采用了最新的真空和反应室设计，使其异常可靠、可重复、精确。TEGAL 901 E还为中级单位提供了前所未有的成本效益。901e的反应室直径为24英寸，采用顶载晶片支架。晶片支架和反应容器均采用不锈钢制成，使机器具有极好的热稳定性。该工具还具有令人印象深刻的温度控制、热电偶设定点和次环境通风功能,可实现各种工艺温度。该资产采用双源设计，允许两个源在同一腔室内装卸，提供无与伦比的吞吐量和效率。在处理过程中,可以以最小的干扰加载和卸载源。901 E还提供了对金属氧化物蒸发速率的精确控制，从而可以精确预测薄膜性能。TEGAL 901e是一个特殊的平台，用于光刻、金属氧化物蒸发、薄膜沉积、薄膜蚀刻和光敏剥离等工艺。它是一个可靠、可靠的模型,适用于一系列应用程序,对于中级系统而言具有很高的成本效益。它具有高度可靠、可重复的工艺周期、卓越的温度控制、低维护要求和低运营成本,使其成为大批量生产环境中的杰出选择。