二手 TEGAL 901e #9191347 待售

TEGAL 901e是为生产硅晶片及相关半导体元件而设计的最先进的蚀刻器/asher。它由先进、精确的闭环控制设备提供动力，该设备调节工艺参数，如蚀刻速率、温度和压力，为用户提供一致和最佳的性能。TEGAL 901 E具有许多专门为蚀刻和灰化过程设计的控件和功能,包括高度精确的自动速率控制系统和闭环压力控制单元,可提供精确的压力控制和精确的重复性,确保一致的结果。此外，该装置还包括一个集成冷却机，它允许腔室和材料有效冷却，提供提高精度和更高的产量。901e采用灵活、用户友好的触摸屏界面,易于操作,为所有过程控制和监控功能提供分步说明。该设备还能够存储和加载多达十种配方,非常适合快速、准确地生产各种不同的晶圆和组件设计,并且附加的安装时间最短。901 E设计具有多种安全功能,包括危险温度、内部压力和泄漏的监控和预警系统。该蚀刻器还设计用于保持最佳工艺环境，温度和压力设置可变，气体和蒸气控制用强大的氙气清洗。此外，TEGAL 901e还具有内置的颗粒收集工具，以保持工作环境的清洁和安全。TEGAL 901 E是专门为生产硅片及相关元件而设计的可靠且先进的蚀刻器/asher。它具有闭环过程控制、用户友好的触摸屏界面以及先进的安全功能，使其成为可靠、精确的蚀刻、灰化和晶片生产的理想工具。