二手 TEGAL 901e #9196408 待售

TEGAL 901e
製造商
TEGAL
模型
901e
ID: 9196408
晶圆大小: 4"-6"
Reactive ion etcher (RIE), 4"-6" ENI ACG-10T RF Generator THERMO NESLAB M75.
TEGAL 901e是一种高级蚀刻器/asher,设计用于专门为MEMS和半导体制造工艺而开发的蚀刻抗蚀剂。该设备采用高功率脉冲激光器,具有广泛的可变参数,以适应广泛的生产运行。它可以对包括铜、铵、铝、硅、多晶硅、氧化物、玻璃在内的各种基材进行快速、准确、可靠的蚀刻。TEGAL 901 E是针对蚀刻抗蚀剂开发的精确控制而设计的。该设备的高功率激光允许对激光漂移、曝光长度和总蚀刻时间进行特定控制。此外,该设备还配备了多种安全功能,以确保生产运行期间的安全。这些安全功能包括一个紧急停止按钮和一个声音警报系统,如果i电缆断开或激光达到其最大光束功率,该系统就会响起。该设备还配备了包括有源电源、激光发射器、光纤输送光纤和计算处理器在内的数字控制单元。这种组合允许精确和一致的蚀刻结果。901e还具有易用性和较低的拥有成本。用户可以快速更改参数并重新编程设备,而无需任何额外的时间或金钱。此外,该设备还设计用于使用柯达、Photopat和Positive等一系列蚀刻抗蚀剂。此外,该设备还与许多标准厚度晶片兼容,从而实现了一系列生产运行。总之,901 E是一种用途广泛且可靠的蚀刻/灰化装置,设计用于各种基材的精确蚀刻。其高功率激光、安全特性和数字控制单元使其成为半导体和MEMS行业的宝贵工具。此外,它的易用性和低拥有成本使其成为各种规模的生产运行的理想解决方桉。
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