二手 TEGAL 901e #9217066 待售

TEGAL 901e是一种蚀刻器/asher,它利用Soft X-Ray技术对材料进行成形和加工,其分辨率比其他制图技术更精细。TEGAL 901 E使用高能X射线光子的可编程光束精确蚀刻掉层层材料，创造出清洁、光滑的边缘和非凡细节所需的图桉和形状。与其他系统相比,901e以相对较低的成本提供了尺寸小至1.5nm的高度精确和快速的材料样式。它专为半导体电子和MEMS市场的研发和生产应用而设计。该设备可实现多种工艺,例如：批量和表面蚀刻、图样定义的沉积和去除、RIE（反应性离子蚀刻）、MEMS和其他高级高分辨率工艺。901 E在将软X射线和光学系统组件集成为单一交钥匙单元方面独树一帜。这种集成使蚀刻器/asher具有与市场上任何其他机器不同的全面功能。该工具专为全天候安全操作而设计,具有完全可定制的用户界面,可提高常规流程质量并微调可重复的结果。TEGAL 901e基于高端、单件单色仪安装的X射线源和多轴电子束准直光学器件，将光束引向目标基板。它还提供了一系列可变参数，包括剂量、焦点、蚀刻速率等等。闭环数字反馈环路监视蚀刻进度,以确保一致的结果,而一系列环境控制功能可确保资产安全高效地运行。TEGAL 901 E同时兼容铝和氧化硅蚀刻化学品。901e提供了一套高级自动化功能,可提高效率和吞吐量,同时最大限度地降低成本和停机时间。它包括集成的配方管理（减少了复杂性和设置时间）,以及自动缺陷管理,可确保可重复的过程性能和提高的产量。此外,该模型还支持从多个位置进行远程监视和控制。总体而言,901 E是用于研发、原型设计和生产需求的理想蚀刻器/asher。其集成的Soft X-Ray设备、用户友好的界面和高精度的结果使其成为广泛应用的可靠且经济高效的选择。