二手 TEGAL 901e #9244749 待售

TEGAL 901e是一款先进的等离子体蚀刻器/asher，设计用于电子电路和微结构表面的精密蚀刻。它能够加工直径不超过200毫米（8英寸）的基板，并且能够达到每分钟10微米的蚀刻速率。TEGAL 901 E利用直接耦合等离子体（DCP）技术将高反应性等离子体应用于底物。这种等离子体由射频能量驱动，在901e内一个孤立的通风室内产生。此过程在整个工作区中创建精确、统一的蚀刻响应,而不会损坏基板的曲面。另外，整个加工室专门设计用来容纳等离子体，防止其逃逸进入工作空间。901 E还能够通过使用数控多维气体分配设备进行精确的梁轮廓控制和设置。这种气体输送系统允许用户精确控制光束输送轮廓，消除任何垂直或水平的蚀刻步进载荷。TEGAL 901e提供了一系列先进的过程控制和监控系统，以确保操作过程中的准确性和一致性。它提供实时的温度和压力读数,以确保精确和可重复的性能。该单元还提供各种传感器和反馈系统，用于监控流程参数，并以易于理解的格式以图形方式显示生成的数据。此外，TEGAL 901 E还配备了一个集成的冷却剂供应机，以帮助调节腔室和基板的温度。这种冷却剂输送工具可以进一步控制和调整，以提高精度和可重复性。901e还提供安全方便的功能，如互锁门开关，以防止资产意外操作。它还带有自动高/低警报和相关的按钮。总而言之,901 E是一种高效、精确的蚀刻器/asher,设计用于加工直径可达200 mm的基板,并具有精确和可重复性。它的先进功能,包括实时温度和压力读数、数字编码光束轮廓控制、集成冷却剂模型和安全系统,使其成为任何精密蚀刻或灰化应用的理想选择。