二手 TEGAL 901e #9244751 待售

TEGAL 901e是一款最先进的蚀刻器/asher,旨在在当今要求最苛刻的半导体制造工艺中提供卓越的性能。TEGAL 901 E具有强大的500瓦感应源,旨在提供高接触角蚀刻剖面,具有高产率和周转时间。其物理和化学过程的组合确保了一致的、可重复的蚀刻模式，同时提供了对关键参数如蚀刻选择性、过度蚀刻比率和蚀刻深度的优越控制。901e还使用独特的高密度等离子体源，产生等离子体能量范围狭窄的高功率离子。这使得它能够选择性地蚀刻有机和无机薄膜的纤维层，具有优越的、可重现的效果。它还减少了来自过程瞬变的非目标沉积物和其他人工制品，有助于最大限度地减少对敏感基材的意外损害。除了蚀刻功能外,901 E还具有高级控制系统,可对其流程进行高级监控。它使用光学端点检测来精确控制蚀刻持续时间，并使用其原位传感器系统实时监测操作参数。它还具有多个警告系统,旨在检测流程条件的变化,并提醒用户采取行动以防止任何不利影响。TEGAL 901e还提供高级诊断功能和内置配方，以确保最复杂的蚀刻项目准确高效地完成。配方库允许用户保存他们经常使用的蚀刻过程，甚至可以使用预先编程的配方来加快一些任务。TEGAL 901 E还设计了特殊的安全特性，如其内置的紧急关闭系统和操作员的主动监控，以确保随时安全运行。总而言之，901e是一种先进的蚀刻系统，旨在满足当今最苛刻的半导体制造工艺的需要。它提供了卓越的基材选择性、高产量和可重复蚀刻模式，以及对蚀刻工艺的先进控制和安全监控。