二手 TEGAL 901e #9247682 待售

TEGAL 901e Etch/Asher是为超大型晶圆操作而设计的先进光刻设备。它为所有设备类型提供各种均匀、各向同性的蚀刻和平面化工艺。该系统利用电池侧和基板制备技术的最新进展，对所有蚀刻和平面化过程提供卓越的统一性和控制性。TEGAL 901 E利用330mm的大型活动区域,可在单步和多步平台中使用,从而在蚀刻结构方面提供更多动态配方和灵活性。该平台由基于Windows的配方软件TEGAL Recipe Manager（TRM）驱动，它使操作员能够构建定制配方，简化操作并提高吞吐量。901e的氙灯驱动光源和Smart Heater软件控制器能够在广泛的温度范围内实现出色的照片可定义蚀刻效果,使操作员能够在生产环境中兼具均匀性和速度。此外,该设备还具有高速传输和扫描功能,最大扫描速率为300 mm/秒。901 E的设计考虑了安全性,具有多种安全导向功能,并为操作员提供警告。该机器经过了多次故障安全测试，以确保高硬件和软件可靠性。在支持硬件方面，TEGAL 901 e能够连接到多种主机，提供与广泛操作系统的兼容性。此外,该工具可以接受大多数标准光刻工具的CAM文件,并可以输出确认数据文件以确保生产过程中的准确性和质量。TEGAL 901 E是超大型晶圆操作的理想选择，提供高度的可靠性、灵活性和控制。该资产经验证的一致性、速度和效率确保了用户能够以精确的方式生产设备。