二手 TEGAL 901e #9269137 待售

TEGAL 901e是为大批量生产应用而设计的高度先进的蚀刻/asher设备。它是一种能够蚀刻多种材料的自动化机器，精密度高达6微米。它提供了最高水平的精确度和可重复性，能够在多种材料中进行蚀刻，包括氮化物硅、铝、钨等。其最大晶圆尺寸为12英寸，可容纳工艺操作员参数。TEGAL 901 E的蚀刻室是一种封闭式盒式设计，允许精确的温度和流动条件以获得最佳的蚀刻结果。其CD控制是一个最先进的线性编码器单元，能够在多个运行中传递精确、可重复的进程结果。该室本身由低泄漏的不锈钢结构构成，包括一个冷墙卡盘，用于坚固的冷却系统性能。901e除了具有流程级别的能力外，还配备了一系列流程监控和数据记录功能，包括通用电脑化控制单元和广泛的数据记录能力。这样可以确保记录和跟踪流程参数的一致性,并准确报告对流程或设置的任何更改。这样可以改进和一致的产量,同时为分析结果提供可靠的基础。901 E还提供了一个强大的安全程序，配有安全评估机，可以在整个过程中监控安全相关因素。此外，它还具有自动关机功能，允许在发生紧急情况时安全高效地关机流程。总体而言，TEGAL 901e是一种高度先进和先进的蚀刻器/asher工具，提供了一种可靠、省时、准确的蚀刻和灰化材料方法。它可以用于从细线蚀刻到深层蚀刻的广泛过程，是大批量生产应用的理想解决方桉。其卓越的精确度和可重复性确保了许多不同的材料能够被精确和精确地蚀刻出来，从而提高了企业的成功和盈利能力。