二手 TEGAL 901e #9312031 待售

TEGAL 901e是一款高级蚀刻器，设计用于各种蚀刻应用。它是一个完全集成的设备，具有多层薄膜蚀刻站，三室批（批）蚀刻工艺，以及集成系统热管理单元。TEGAL 901 E配备了高性能的抗蚀剂、可调节的蚀刻室、高精度的掩模对准、晶圆温度控制以及可选的粉尘和溶剂净化系统。901e允许最多三步的薄膜蚀刻过程,允许用户蚀刻各种薄膜厚度、密度和厚度公差。蚀刻过程完全自动化，在ExactMetrology软件套件下工作，该套件允许用户处理多个处理参数。901 E的多层工艺允许用户一次蚀刻多层薄膜，使其成为电路板、电子元件和其他错综复杂的硬件产品批量生产的绝佳工具。配备了高性能的抗蚀层，TEGAL 901e可以蚀刻广泛的图桉和形状。可调蚀刻室允许蚀刻多种材料，包括金、银、铝、钯合金。TEGAL 901 E的重叠结合特性允许应用卓越的膜分辨率和均匀性。此外，软件控制的等离子体压力控制机和晶圆温度控制保证了蚀刻过程的效率和精确度。901e配备了多套精密的基于技术的系统，以提高其性能。高精度的掩模对准允许精确对准和重复图桉,而可选的粉尘和溶剂净化系统有助于保持清洁的环境,确保安全高效的蚀刻。901 E具有50 cm2/min的高输出，可以快速准确地蚀刻一系列基材和材料。总体而言，TEGAL 901e是一种先进的蚀刻工具，能够产生高精度和高效率的结果。其最先进的技术、通用、可调的蚀刻室以及用户友好的界面，使其成为蚀刻应用的绝佳选择。TEGAL 901 E具有强大的功能,加上增强的安全协议和较高的输出率,是大量生产复杂零部件的理想解决方桉。