二手 TEGAL 901e #9314694 待售

TEGAL 901e Asher是生产电路板和其他元件的现代化高科技蚀刻设备。它是一个结合了最新的化学机械平面化（CMP）、反应性离子蚀刻（RIE）和晶圆清洁（Wafer Clean）的系统。TEGAL 901 E是一种高性能的干蚀刻装置，利用活性氧溷合物生产具有高空间分辨率的电路板组件。901e的基本结构包括两个气体箱，用于制造和管理蚀刻过程所需的精确气体溷合物的流动。这些气箱位于蚀刻室的顶部和下方。蚀刻室是一种不锈钢真空密封加工室，里面装有载体/口罩、靶板和基板。它有一个集成到腔室门的压力控制机，并配有一个快速通风阀，用于确保腔室的打开和关闭。901 E有一个4区4微米级加热工具和一个控制器，为每个蚀刻步骤提供温度和气体输送的精确控制。TEGAL 901e包括一个强大的脉冲发电机，它为目标和载波提供一个受控和一致的能量分布。这允许精确控制均匀性、选择性和蚀刻速率能力。它是一种完全自动化的资产,允许使用单个掩码或多个掩码蚀刻。此外,TEGAL 901 E还提供内置的数据记录、清理和最终阶段检查,从而允许在蚀刻阶段重复使用和减少材料浪费。901e配备了先进的安全功能，包括温度、压力和应变传感器。该模型采用符合人体工程学的操作门设计，可锁定手柄、互锁支撑钩和防爆玻璃，确保了蚀刻过程中的最高安全水平。901 E的性能在市场上名列前茅，因为它能够产生5微米的蚀刻分辨率和更快的铜、铝等材料的沉积速率。设备以一致、可重复的结果运行。其先进的特点使其成为理想的电路板、集成电路和其他关键元件蚀刻系统。