二手 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE LSS-20SLAT #293646283 待售

ID: 293646283
Ion implanter Beam diameter: 0.68mm ± 5% Beam divergence: 1.05mrad Wave length: 488nm Maximum drift: <2.0% Minimum air flow cooling: <50cfm Expected lifetime: >20,000 Electrical power: Up to 60W Output power: 50mW.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE LSS-20SLAT是一种先进的离子植入器和监控设备,用于制造半导体器件的微观结构变化。这是通过向材料引入受控数量的电荷载流子(电子或离子)来实现的。离子植入器通常用于制造先进的半导体器件和集成电路。KLA LSS-20SLAT使用线性加速器将电荷载流子注入材料中。离子束然后被多元素磁体系统成形聚焦成均匀能量的束。这确保了对沉积在材料中的能量量的精确控制。该单元能够产生能量在20-250 KeV范围内的光束。TENCOR LSS-20SLAT配备了一个高度灵敏的监视器,用于检测装药载流子的植入。这有助于确保准确和精确的兴奋剂控制。机器能检测到氢、氧、氮等65种不同的气体。LSS-20SLAT还具有先进的低压等离子体源,以提高离子束的均匀性和准确性。该工具非常灵活,可以配置为满足特定要求。它既可用于单晶片植入,也可用于批次模式植入。THERMA-WAVE LSS-20SLAT在半导体行业中作为最方便用户、准确、可靠的离子植入器获得了广泛的认可。它已经在大批量生产以及研发应用中证明了自己。该资产在可靠性、准确性、灵活性和性能方面赢得了令人羡慕的声誉。总之,KLA/TENCOR/THERMA-WAVE LSS-20SLAT是一种先进的离子植入器和监测器模型,为研究和生产操作提供了高精度和可靠性。该设备的灵活配置和尖端技术使其成为半导体应用的绝佳选择。
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