二手KLA / TENCOR / THERMA-WAVE LSS-20SLAT待售

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KLA / TENCOR / THERMA-WAVE LSS-20SLAT #293646283

KLA / TENCOR / THERMA-WAVE

LSS-20SLAT

Ion implanter Beam diameter: 0.68mm ± 5% Beam divergence: 1.05mrad Wave length: 488nm Maximum drift:
167
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