二手 QUINTEL Q4000 IR #9236253 待售

製造商
QUINTEL
模型
Q4000 IR
ID: 9236253
晶圆大小: 4"
Exposure machine, 4".
QUINTEL Q4000 IR是一种改进的精确度掩模对准器,旨在提供精确、自动的光掩模与半导体对准。它配备了三维、双级、压电馈电和扫描设备,允许在6英寸或12英寸的基板上同时对准和索引多达32个模具。Q4000 IR具有运动系统和高分辨率编码器,可实现极精确的掩模与基板对准,并结合集成的高精度6微米光学计量单元。运动机器提供高达320mm/s的扫描速度和+/-0.3微米在所有角度的可重复性,允许精确对准和索引精密元件。QUINTEL Q4000 IR能够执行各种功能程序,从精确的晶圆和模具配准和对齐到划线和进一步的底物处理步骤。与传统系统相比,这台先进的机器提供了最精确的对准和快速的紫外线暴露,从而缩短了生产设备所需的时间。具有触摸屏的集成可编程逻辑控制器(PLC)使用户能够快速轻松地为不同的应用设置机器。用户友好的界面允许通过其内置的"Greensight"功能对重复任务进行程序定制和自动化。Q4000 IR还设计了多种安全功能,以保护操作员和设备免受损坏或伤害。集成了一个过温控制工具,以防止组件过热,而双百叶窗门则保护腔室免受碎屑和灰尘的侵袭。集成的HEPA空气过滤器可确保清洁的工作环境。精确运动资产、可编程逻辑控制器和高级安全特性的强大结合使QUINTEL Q4000红外掩码对准器成为半导体制造中高精度、自动化过程的绝佳选择。红外掩模对准器具有快速的紫外线暴露能力和精确的对准和精密元件的索引,Q4000是广泛应用的理想选择。
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