二手 QUINTEL Q4000 #293663745 待售

QUINTEL Q4000是一种软蚀刻、基于接触的面膜对准器。它旨在实现用于生产半导体器件、MEMS和其他微型元件的精确、高产光刻工艺。它也被用于生产其他纳米结构和纳米级器件。机械由扫描台、机械组件、光学成像设备和辅助设备组成。扫描级由X轴和Y轴两个正交运动轴组成。这样可以将掩码精确定位在光学视场中。机械组件的设计目的是确保尺寸精度、平整度和面罩水平的最佳机械公差。这对于达到尽可能高的平版印刷吞吐量至关重要。QUINTEL Q 4000的光学成像系统提供极高解析度的成像，放大倍率高达10X。合并的折射光学器件旨在最大限度地减少像差、散光和渐变,以便在整个视场中实现非常均匀的成像。掩模对准器的辅助组件包括显微镜、自动晶圆处理单元和特定于过程的模块。显微镜为手动对准操作提供了极好的分辨率和精度。自动晶圆处理机便于统一处理，污染风险最小。可将特定于工艺的模块添加到用于定制机器的工具中，以满足特定光刻任务的要求。总体而言，Q-4000是一种先进的掩模对准器，用于晶圆级生产需要精确光刻的元件。它提供出色的分辨率、平整度和尺寸精确的处理,以及自动晶圆处理和可定制的特定于过程的模块。这使机器能够生产高通量、高产量的优质微量和纳米级元件。