二手 QUINTEL Q4000 #9375020 待售
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QUINTEL Q4000是一种高度先进的掩模对准设备,用于各种先进的光刻工艺。它旨在支持MEMS制造过程中的多个步骤,包括光刻胶烘烤、光掩模制作、晶圆制备、蚀刻和后工艺清洗。QUINTEL Q 4000旨在让使用者在各种基板上製造MEMS时,达到极精确且可重複的对准与对准精度,以及卓越的吞吐量与精确度。Q-4000易于使用的软件允许为复杂的MEMS结构设计复杂的光掩码,如波导、集成电路和模具。此外,该软件的设计旨在优化复杂MEMS结构的吞吐量,简化生产流程。QUINTEL Q-4000的定位精度由其0.5微米对准精度的高度先进的定位系统实现,并通过修改实现亚微米精度。它具有较大的视野,X-Y行程范围可达40毫米乘40毫米,Z行程范围可达8毫米。再者,它配备了包含0.2毫米聚焦精度的先进自动对焦单元。为了实现快速吞吐量,Q4000采用三区设计,中心有两个6英寸区域,两个3.5英寸区域可以调整以提高分辨率。不同的区域可用于为每个晶圆创建多个掩码,从而为大规模生产提供卓越的吞吐量和成本节约。它还配备了快速对齐机,用于快速扫描、设置和对齐。最后,Q 4000被设计为可扩展和可升级的,其可选的软件模块为工具添加了功能。它与多个CAD平台兼容,可以快速集成到任何生产环境中。QUINTEL Q4000还被设计为经济高效,操作效率高,停机时间短。对于在制造MEMS元件时要求精度和可靠性的制造商来说,这是一个绝佳的选择。
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