二手 ADVANCED METROLOGY SYSTEMS (AMS) IR3000 #9383425 待售

ID: 9383425
Inspection system.
ADVANCED METROLOGY SYSTEMS (AMS) ADVANCED METROLOGY SYSTEMS (AMS) ADVANCED METROLOGY SYSTEMS (AMS) IR3000是一种最先进的掩模和晶圆检测设备,用于对半导体及相关行业中使用的薄膜、金属、绝缘材料及其他基材材料进行高精度的测量。IR3000可以对厚膜层或薄膜层进行接触和非接触测量,并可以对包括圆形和椭圆形在内的各种几何形状进行测量。ADVANCED METROLOGY SYSTEMS (AMS) IR3000采用集成的自动化晶片和样品处理系统,配有高分辨率显微镜和过程控制单元,可提供全自动检查过程。其简化的软件界面支持手动和自动化操作,并包括校准、数据采集、数据分析和报告等操作功能。IR3000还提供各种自动化测量功能,包括厚度、反射率、电阻率和波前误差的光学测量。AMS ADVANCED METROLOGY SYSTEMS (AMS) IR3000配备了高精度的自动对焦光学器件,可精确测量每μ米特征尺寸的6个粒子。该单元能够准确、重复地测量最小的特征。其精密的光学机器还提供了强大的分析能力,用于测量诸如discretes和vias等局部特征。IR3000采用了一种高功率激光成像工具,可以检测和成像140 nm及更大范围材料阵列的缺陷。它的高级成像功能使用户能够放大到实时(或实时的)原子结构图像中,从而在微观尺度上提供前所未有的细节。ADVANCED METROLOGY SYSTEMS (AMS) IR3000旨在在清洁和受污染的环境中提供一致的性能。其坚固的设计在恶劣的环境条件下提供了卓越的性能,并保证了所有测试中的最高质量结果。它的动态计量能力包括测量和量化不对齐的能力、比例良好的地形以及极精确的轮廓测量。作为一种通用可靠的工具,AMS IR3000是实验室、研发机构和要求在微电子元件和设备的研究和生产中进行精确、可重复测量的公司的理想选择。ADVANCED METROLOGY SYSTEMS (AMS)通过提供对多种材料的高精度测量和对微观特征的综合分析能力,IR3000是对半导体元件进行严格分析和质量控制的绝佳选择。
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