二手 CARL ZEISS MeRit HR32 Plus #9254285 待售

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ID: 9254285
优质的: 2011
Mask repair system CIM: SECS / GEM SMIF 2011 vintage.
CARL ZEISS MeRit HR32 Plus是一款采用创新技术进行晶莹剔透缺陷表征的面罩和晶圆检测设备。该系统的工作原理是跟踪面罩和晶片上的小而重要的特征,以便检测任何缺陷。MeRit HR32 Plus利用多个单独的光源投射不同的结构光模式。这一单元设计紧凑,占用的空间极少,但仍提供强大和可靠的性能。当光照到掩模/晶片时,每个光源会创建两条垂直的线性曲线。光线通过后仍然可见的任何缺陷都被光源图像照亮,进行实时分析。为了保证结果的准确性,检验过程采用了自动对焦深度控制和三维计量机。这些功能结合起来,使用户能够自动控制焦点并测量掩码/晶片的3D曲面轮廓。这样就无需手动调整成像光学器件。此工具提供的软件易于使用,并包含一些有助于简化检查过程的功能。其中包括:集成的报告生成器、全面的缺陷数据库和直观的图形用户界面(GUI)。利用这些功能,用户可以快速诊断任何缺陷并访问检查期间收集的所有数据。CARL ZEISS MeRit HR32 Plus是光刻领域计量应用的理想选择。它是高分辨率检测、3D缺陷成像、高精度掩模对准测量的理想选择。该资产能够快速检测到肉眼看不到的非均匀性和缺陷。凭借出色的准确性和可靠的性能,MeRit HR32 Plus是每个计量应用程序的理想伴侣。
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