二手 KLA / TENCOR 2138 #192497 待售

KLA / TENCOR 2138
製造商
KLA / TENCOR
模型
2138
ID: 192497
Brightfield defect wafer inspection system.
KLA/TENCOR 2138是一种高性能的自动掩模和晶片检测设备,设计用于检测晶片和掩模上的各种缺陷和异物颗粒。该系统采用先进计量和无损检测技术相结合的方法进行有效检查。该装置采用先进的双传感器结构,结合了高分辨率显微镜成像和扫描激光技术。光学显微镜提供了比传统数字成像技术更大的分辨率和对比度,而激光扫描机则提供了更准确的检测缺陷的方法。两台传感器协同工作,提供可靠准确的检测能力。KLA 2138配备了强大的图像采集和处理软件,旨在优化缺陷识别和表征。软件采用边缘检测、缺陷识别、自动对焦、图像增强技术等多种算法,快速准确地识别缺陷和外来粒子,即使在最困难的模式下也是如此。刀具提供各种测量参数,包括尺寸、形状和位置。敏感资产能够在不影响底层设备结构的情况下检测到任何高达12纳米和更小的缺陷。它还可以检测235纳米和更小的信号,同时在三个维度上进行测量。TENCOR 2138被设计成一种可靠高效的检测面罩和晶片的仪器。它提供了无与伦比的检测缺陷和异物颗粒的准确性和可靠性。该模型能够检查各种晶圆尺寸和表面光洁度类型的各种材料。它还能够执行各种检查任务,包括故障分析、寿命测试和损坏检查。它旨在减少对多次检查的需求,从而降低检查成本,提高产量和吞吐量。
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