二手 KLA / TENCOR / INSPEX TCP 8530M #136451 待售
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KLA/TENCOR/INSPEX TCP 8530M是一种高端掩模和晶圆检测设备,旨在最大限度地提高自动化检测过程的准确性和性能。该系统由一套专有的软件、硬件、光学和探测器组成。这是一个创新的检测单元,可用于半导体电路掩码或晶圆缺陷检测。KLA TCP 8530M掩模/晶片检测机采用四种光学刀具配置提供高精度检测,旨在提高检测结果的可靠性。四种资产配置包括两模阵列、三模阵列、五模阵列和九模阵列。每种配置都利用一组高精度的目标、一个点图样和一个激光点照明器。此外,该型号还配备了4-CCD成像阵列和数据处理单元。TENCOR TCP 8530M利用先进的图像处理算法来准确分析缺陷结构。这些算法能够消除由于随机噪声可能产生的误报,防止掩码和晶圆图像的任何不必要的重新工作。这种设备在半导体电路掩模工业中检查可以包含多层电路的掩模时特别有用。TCP 8530M具有高速管线体系结构,使其能够以最小的运动控制同时检查多个视图字段。该系统还能够检测划痕、细线和其他难以识别的缺陷,使其适用于复杂的掩模和晶圆检查过程。其他功能还包括高精度的入射角度视图,以及操作员可调节的焦点,可改善定位和缺陷可见性。INSPEX TCP 8530M设计用于晶圆表征、优化和控制半导体制造工艺的层。这个单元也是芯片设计者的理想选择,让他们快速准确地分析自己的设计对象。此外,该机能够对焊接缺陷进行快速、准确的诊断,确保产品无缺陷。这使得KLA/TENCOR/INSPEX TCP 8530M制造过程中必不可少的工具。
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