二手 RUDOLPH AXI-935D #9385106 待售

RUDOLPH AXI-935D是为半导体工业设计的最先进的掩模和晶圆检测设备。它是一个全面的系统，有助于检测和分析蒙版和晶片上的缺陷。该单元由透镜系统、激光干涉显微镜和其他有助于捕捉和分析高分辨率图像的光学元件组成。机器配备精密运动级，可以机械或通过电机控制的进料移动掩模或晶片。它还装备了一个可以旋转物体进行360度成像的舞台。该工具旨在支持传统的2D成像和高级3D成像。它允许广泛的图像采集方法，如全内反射、上光照射、暗场和斜视，并且能够以10nm分辨率获取图像。RUDOLPH AXI 935D的子系统旨在分析缺陷,并将其与先前获得的"黄金图像"进行比较,以确定哪些区域受到影响。它可以检测到尺寸低至0.2微米的缺陷，并能提供尺寸、长宽比、对比度、强度等缺陷的准确可靠信息。AXI 935 D还包括一套综合的图像处理工具，用于分析图像数据和提取关键缺陷参数。这些工具有助于识别缺陷并将其与背景限制隔离开来。它还可用于识别过程缺陷、确定产量损失以及识别可能导致过程失败的关键缺陷。此外,还可以通过添加高级缺陷过滤、缺陷分类和高级模式识别等功能,对资产进行自定义以满足特定的应用程序要求。该型号也是模块化的，可以用更高放大倍率的镜头或可互换的光学元件轻松升级。综上所述，AXI-935D是一种可靠、通用的掩模和晶片检测设备，旨在保证掩模和晶片检测的最高精度和生产率。它具有高度可配置、易于升级以及能够提供详细而准确的缺陷分析。