二手 RUDOLPH CV 9812 #9163869 待售

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RUDOLPH CV 9812
已售出
製造商
RUDOLPH
模型
CV 9812
ID: 9163869
晶圆大小: 12
Dimension measurement system, 12".
RUDOLPH CV 9812是由RUDOLPH Technologies製造的下一代口罩和晶圆检查设备。该系统以极高的吞吐量提供高质量和准确的结果,并设计成可对多达4个晶圆/秒的图像进行成像。该单元采用全息方法进行检查,利用脉冲光源捕获整个晶圆表面不同深度的连续图像。该机器基于RUDOLPH Technologies的专有技术,使用相移干涉测量(PSI)技术以数字方式检测使用标准光学系统可能无法检测到的缺陷和图像特征。CV 9812可以检测到小至0.3 um的临界缺陷,使得晶圆检查的分辨率比传统光学工具高200倍。该资产是完全自动化的,可用于各种晶圆类型和材料。该模型还包括为编程和图像分析提供高级抽象能力的集成软件。此自动化功能允许快速打印检测到的缺陷特征,以便于目视检查。集成软件还提供图像分析工具,如掩码对齐、图像和特征比较,以及包括掩码模煳和对比度增强在内的高级成像技术。设备的设计包括超高分辨率成像仪和激光器,允许无损全面的检查。这不仅允许缺陷检测,而且允许每个粒子的可视化、打印和分析及其对晶圆的影响。这种控制水平不仅保证了质量控制,还允许开发具体的补救措施来提高晶圆产量。RUDOLPH CV 9812提供了无与伦比的图像精度和一致性,以及可重复性和可靠性。它是一个坚固而有力的设计系统,具有高度耐用的外壳。通过高分辨率成像、低噪声成像和集成软件功能的结合,该单元为掩模和晶圆检测提供了前所未有的控制水平。
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