二手 RUDOLPH NSX 115D #9223806 待售

RUDOLPH NSX 115D是设计用于半导体制造的强大的掩模和晶圆检测设备。它为制造过程各个阶段的质量保证提供了一个全面的平台。NSX 115D系统使用高分辨率光学器件,在晶圆或掩模级别提供质量控制。它可以快速检测到任何缺陷,例如缺少的阵列、悬垂的边缘、断线或其他关键问题。可选的扫描电子显微镜（SEM）还提供了自上而下的检查功能,可以更详细地查看任何缺陷。RUDOLPH NSX 115D单元还提供了先进的缺陷分类，能够对类似缺陷进行分组和分析。机器分为三个主要区域，具有三个独立的阶段。第一阶段侧重于预扫描。这裡得到晶片的影像作进一步的处理。与典型的2D扫描相比,3 D工具可实现更精确的大规模成像效果。这些预扫描图像也作为进一步比较的基准。第二阶段是编辑阶段，在此期间对图像进行编辑和调整，以便进一步优化。在这一阶段，各种算法被用于检测和识别各种缺陷，如颗粒、划痕、颗粒和裂纹。第三阶段是后扫描。经过缺陷分类和分析后，数据被存储起来供以后使用。此步骤旨在检测任何潜在的潜在缺陷,并确保阶段之间的晶圆或掩码没有变化。总体而言,NSX 115D工具为晶圆和掩码的质量控制和分析提供了一个全面的平台。该资产具有出色的光学性能、先进的缺陷分类和3D处理功能,是半导体制造质量保证的理想选择。