二手 RUDOLPH NSX 115D #9260018 待售

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製造商
RUDOLPH
模型
NSX 115D
ID: 9260018
晶圆大小: 12"
优质的: 2009
Automatic defect inspection system, 12" Vacuum chuck lift pin damaged 2009 vintage.
RUDOLPH NSX 115D是一种最先进的掩模和晶圆检测设备,设计用于识别半导体制造过程中的污染、表面缺陷和其他不规范之处。该系统提供一流的自动化性能,具有一个光源,该光源具有4.7kW的氙灯、可编程光学器件和一个具有高分辨率CMOS传感器的成像单元。在高达1K x 2K像素的总视场下,机器可以检查掩码和晶片是否具有小至5 μ m的特征。NSX 115D采用了获得专利的SSR (Su-Pixel Response)图像处理技术,允许100%像素级晶圆和掩码缺陷检测。它利用基于图像的计量工具,仅需几分钟的实际操作时间即可快速识别和测量特征和缺陷。该资产还配备了多种软件应用,包括WaferMask,一种掩模/标线检查工具;WaferMarker,一种自动晶圆检查工具;WaferMapper,一种映射/聚焦工具。所有这些应用程序都可以通过直观的图形用户界面(GUI)访问。此外,RUDOLPH NSX 115D支持多种数据输出格式,如TIF、BMP、JPG和PDF。它还具有可选的OCR(光学字符识别)ID阅读器,可以识别晶圆或掩码上的各种类型的文本和符号。该型号还配有包括可调节照明台、真空棒、自动晶圆扫描和加载以及多个摄像头位置在内的综合硬件支持包。NSX 115D是自动检测掩模和晶片特征和缺陷的理想工具。凭借其全面的硬件和软件包,它提供了一流的性能和可靠性。它对多种数据格式的支持确保了它易于集成到任何半导体制造过程中。这使得RUDOLPH NSX 115D任何需要自动检查和诊断掩模和晶圆检查的半导体工艺的理想选择。
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