二手 RUDOLPH NSX 115D1 #9260012 待售

RUDOLPH NSX 115D1是一种高科技掩模和晶圆检测设备，设计用于提供准确可靠的光掩模/标线对准和精度。该系统包括两个独立驱动的用于掩模或晶圆操纵的XY级，允许高速对准，不同放大率的各种镜头选项，精确的角度测量和居中，以及其他确保检查过程最高精度的功能。NSX 115D1能够高速、精确地检查各种口罩和晶片。该单元具有X轴和Y轴两个运动轴,可提供高达600mm × 800mm的动态图像捕获范围。该机能够对集成电路制造过程中使用的各种光掩模和标线进行精确定位和高精度对准。除了两个运动轴之外，RUDOLPH NSX 115D1还提供了多种不同放大倍率的镜头选项，从1/3X到16X。这为用户提供了以高放大倍率检查晶片和掩模的灵活性，同时保持最高精度水平。该工具还可以测量高达一度的角度偏差精度，从而确保被检查的掩模或晶片更精确的对准。为了确保最高的准确性和可靠性,NSX 115D1包括自动聚焦和后测量功能。自动聚焦功能利用气动资产自动获得最佳图像视图。这样可以确保稳定和准确地确定掩模和晶片之间的最佳匹配对齐方式。同时，后测量功能提供了一个多参数报告，可以保存和访问该报告以供审查和/或将来参考。最后,RUDOLPH NSX 115D1包括其他功能,可让用户轻松操作。其三维触摸屏显示为简单的导航提供了描述性直观的用户界面。该模型还提供全面的培训计划,包括现场和在线课程,为用户提供操作NSX设备并有效排除故障的知识。总体而言,NSX 115D1掩码和晶片检查系统是高精度和可靠的光掩码/标线对准和准确性的理想解决方桉,为用户提供了一种简单有效的方法来检查和对准掩码和晶片。