二手 RUDOLPH SWS #9378745 待售

RUDOLPH SWS是来自RUDOLPH Technologies, Inc.的最先进的掩模和晶圆检验系统。该系统设计用于半导体织物，它为具有挑战性的掩模和晶圆检验任务提供了一个自动化的解决方桉。SWS将复杂的照明和光学技术与先进的软件算法相结合,以检测晶片或掩模中可能导致制造过程中产生问题的任何缺陷。掩模&晶片检验过程的第一阶段是晶片扫描，利用机械臂在晶片表面快速准确定位相机，同时收集反射率、表面地形、表面与掩模之间的结合能量等数据。这个晶圆的初始扫描产生了一个详细的映射，可以用来检测表面的任何潜在缺陷。掩模和晶片检查过程的第二阶段检查掩模本身是否有故障或不规则性。面罩正面朝下放置在桌子上，专门的摄像机扫描图像是否有异常。这是用反射光和显微镜的溷合物完成的，以确保即使是最微小的缺陷被检测到。掩模和晶片检查过程的第三阶段需要对掩模和实际晶片进行比较。RUDOLPH SWS使用精密的软件算法来比较这两个图像，并检测掩码的外观和实际晶片的外观之间的任何差异。如果发现任何差异，SWS能够突出故障并通知需要注意的人力检查员。最后，第四阶段的掩模和晶片检查需要审查结果。RUDOLPH SWS能够生成掩码和晶片检查过程的详细3D报告,从而详细概述已确定的任何问题。这有助于人工检查员快速确定他们可能需要解决的任何问题,使他们能够深入了解制造过程并帮助提高产量。SWS是一个令人印象深刻的系统,它允许半导体制造商自动执行其掩模和晶片检查过程,并以比手动检查高得多的精确度概括整个晶片。这为优化制造工艺和提高产量提供了一个绝佳的机会。