二手 RUDOLPH Waferview 320 #9234643 待售

RUDOLPH Waferview 320是一种高分辨率的掩模和晶圆检测设备，设计用于高级内联缺陷检测任务。该系统提供独特的功能组合,便于对具有优良特性尺寸的掩模和晶片进行自动化、高吞吐量的质量检查。该单元由明亮、高保真的7微米像素分辨率CCD相机与19/18/12um NA双轴照明列车配对供电。这使得晶圆和掩模检查精度非常清晰。该机还具有直观的晶圆操控和六轴机器人对准，提升了机器人和晶圆定位的灵活性和多功能性。检测算法包括多种晶圆检测技术，包括地形图、自动对焦、缺陷映射、特征差异化、快速走/不走。这些算法得到了全面的数据库集成和内置缺陷跟踪工具的补充,该工具可以在几分钟内检测晶圆形状、特征和纹理的细微差异。Waferview 320还具有优化的光路,可利用和控制全方位的图像细节,确保从边缘到边缘的全覆盖。这允许业界领先的检测各种缺陷,从大规模缺陷到细腻的、几乎看不见的缺陷。此外，该资产还具有一个自动的空白循环和模式识别过程，可随时评估过程质量，并将检测到的缺陷映射到与过程相关的坐标中。模型构造坚固、模块化，最大限度地减少机械振动，确保平台稳定。机械和光学数据紧密集成在一个不可分割的单元中，允许用户通过不处理多个独立的部件来节省时间。总体而言，RUDOLPH Waferview 320掩模和晶圆检测设备是任何工业应用的强大而可靠的工具。它具有全面的功能,允许用户有效地检测和检查缺陷,并具有直观的设计,可帮助改善工作流程。通过将其世界领先的分辨率、精确度和准确性与坚固的模块化设计相结合,该系统将确保简化检查并保证高质量的结果。