二手 RUDOLPH WV 320 #9183381 待售

RUDOLPH WV 320是由RUDOLPH Technologies开发的线型Mask and Wafer Inspection设备的顶部。该系统设计用于研究、开发和制造下一代半导体和光电子。RUDOLPH WV320具有使用彩色CCD摄像机的高级检查功能以及最新的专有面罩审查算法。该设备具有按人体工程学设计和可配置的操作员界面，用于评估掩蔽和晶圆检查操作。自动化和传感器根据预定义的作业设置管理检查参数的更改,从而能够快速准确地获取数据。该机还配备了双输出光束和偏转光学器件，允许同时成像同一个标本的两个部分，同时保持锐焦。双光束光学器件有助于确保样品不同部位的精确粒子和尘埃检测。显微镜还提供高达3倍的可变放大倍率，确保各级细节的精确检查。WV 320还具有先进的边缘检测算法，使其能够准确检测掩模和晶片上的缺陷和颗粒。边缘检测算法可以检测尺寸小至0.2µm的不规则性，允许准确的缺陷表征和报告。该工具还能够比较缺陷图像并突出显示随时间变化,从而使用户能够有效地跟踪进度。WV320具有亮场照明、暗场照明、偏振照明等可选功能。这些选项增加了颗粒和缺陷之间的对比和区别，确保了准确的检测。多通道彩色相机允许在多个彩色通道中同时成像，允许用户生成与粒子分布和尺寸相关的高级度量。RUDOLPH WV 320是半导体制造、可再生能源研究和其他光电应用的理想选择。适用于高分辨率成像和缺陷/粒子检测操作。其独特的特性，如多通道彩色成像、边缘检测和无标签图像分析，使其成为对掩模和晶片进行准确可靠检测和检查的宝贵工具。