二手 RUDOLPH WV 320 #9247834 待售

RUDOLPH WV 320是一种掩模和晶片检测设备，设计用于快速准确地检测半导体掩模和晶片。随着半导体设计的日益复杂,具有更密集和更精细的特征尺寸,掩模和晶片检验系统对于确保产品的最高产量和质量至关重要。RUDOLPH WV320配备了1600万像素、高速20位图像传感器和镀锌扫描镜技术，支持快速高效的缺陷扫描。该系统支持200 mm x 200 mm的最大视野,以最大每秒120 mm的扫描速度优化检查操作。凭借WV 320的深度聚焦能力，它甚至可以检测到晶圆或掩模中最小的缺陷，无论是在视场边缘还是晶圆底部。该单元还具有宽带检测滤波器、全向自动校准和三维深度推导，以获得最佳成像结果。这使得机器甚至可以检测到最难以检测的缺陷，如针孔、短裤、隔离缺陷等。此外,该工具还支持各种检查方桉,从2D-to-3D协调缺陷检测、前端/后端芯片对齐到横截面地形分析,以及模模对比。为了最大程度地提高可靠性和效率,资产还具有热/冷非易失性RAM,以及用户友好的GUI和数据存储,用于可重复的晶圆/掩码分析。此外,该模型还可与多种成像软件配合使用,包括RUDOLPH MaskControl、全面的功能丰富的掩码以及缺陷分析和检查包。WV320与其他RUDOLPH掩模和晶片检验系统相结合,通过快速、准确的晶片/掩模分析提供先进的检验,达到现有的最高产量并确保最高的质量和可靠性。