二手 RUDOLPH WV 320 #9248810 待售

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製造商
RUDOLPH
模型
WV 320
ID: 9248810
晶圆大小: 12"
Macro defect inspection system, 12" (2) BROOKS Loadports with FOUP Loadports carrier reader: RFID Type YASKAWA Robot Light source: Head: 20 um Xenon flash lamps Wavelength range: 480-750 nm Resolution: Above 25 um Function: YVS Server 3D Defect image generation Auto Defect Classification (ADC) function.
RUDOLPH WV 320是一种自动化的掩模和晶圆检验设备。它被设计用于半导体制造过程中,以检测和最小化晶圆加工中的缺陷。该系统有助于降低生产成本和提高产品质量。该单元是基于先进扫描成像技术的3轴掩模和晶圆检测机。它包括一个先进的自动化级机构,具有强大和精确的二维扫描功能,以及放大控制工具。该资产能够执行各种自动掩码和晶圆检查。它可以检测到模式差异、颗粒等表面不规则等亚微米缺陷。该模型还能够检测由污染物或杜鲁巴错误检查引起的晶片印刷缺陷。设备可以根据要检查的晶片类型扫描200毫米至400mm之间的区域。集成放大控制系统允许实时精确缩放和旋转图像,以提高检查精度。先进的屏幕测量功能允许操作员使用易于使用的鼠标单击来精确测量缺陷大小。该单元还配备了提供4K分辨率的True Color Display,可提供更丰富、更详细的图像。该机器方便用户,易于操作和维护。该工具具有直观的用户界面,并带有大量预先配置的设置库,如示例模式、照明设置、测量标准和掩码接受标准。这允许快速、准确的设置时间和最佳的控制。资产还具有内置的FITS功能,能够存档和跟踪检查工作。此功能使操作员能够以数字形式存储数据,并快速调用缺陷进行比较。RUDOLPH WV320掩模和晶片检验模型是确保晶片生产的最高精度和可重复性的有效解决方桉。其先进的自动化级机构、放大控制设备、直观的用户界面和坚固的True Color Display可为要求最苛刻的半导体应用提供无与伦比的质量控制。
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