二手 RUDOLPH WV 320 #9248814 待售

RUDOLPH WV 320是一种先进的掩模和晶圆检测设备，确保高精度和高分辨率的3D图像可用于掩模和晶圆的检测。它配备了先进的光学器件和一系列的微微成像元件，可以用来检查各种各样的掩模和晶圆几何形状。该系统先进的光学单元包括自动变焦机构和偏振滤波器，完全可调，可用于检测微妙的缺陷和检查亚微米粒子或电路几何形状。其精密的3D成像机捕捉到高达17毫米大小的检查区域的高分辨率结果。RUDOLPH WV320具有强大的图像处理和分析功能,能够检测和测量微孔、刮痕和异物等细微缺陷,精度高达10nm。利用其内置的晶圆对准功能，在同时检查多个晶圆截面时也能准确对准样品。此外,WV 320还具有多项高级功能,可实现高效、快速的掩模检查。它与大多数行业标准CAD系统兼容,并且可以通过线路扫描生成高保真3D模型,以便检查大型掩码和复杂结构。该工具可以配备iScan激光资产，能够每秒产生256次非接触式激光扫描，允许高通量的3D扫描和成像。此外，模型的动态图像跟踪设备（DITS）可以在掩模检查时调整焦点和曝光设置，以保持恒定的图像质量。一个组合的掩模和晶圆检测系统，WV320提供了卓越的性能，可靠性和准确性。它为用户提供高达3C的测量、更好的过程控制和全面的分析,以提高产量和质量。对于要求在面罩和晶圆检测中准确性和可重复性的客户来说，这是理想的选择。