二手 DAN-TAKUMA TECHNOLOGIES ODC-1402BEW #9132891 待售

DAN-TAKUMA TECHNOLOGIES ODC-1402BEW
ID: 9132891
优质的: 1998
Wafer Size, 1998 vintage.
Dan-TAKUMA TECHNOLOGIES ODC-1402BEW是一种专为半导体制造领域的应用而设计的专用机器人晶圆加工设备。ODC-1402BEW利用最先进的机器人手臂在其各个加工阶段之间处理和转移晶片。该系统包括一个标准的晶圆持仓,最多可容纳150个晶圆。DAN-TAKUMA TECHNOLOGIES ODC-1402BEW利用具有六个轴的专有机械臂在过程阶段精确操纵晶片。这种机械臂与一种先进的视觉装置相连,该装置用于精确确定晶片的位置并确保精确和可重复的处理。先进的运动控制机能够进行晶圆旋转、精确定位和奇数、破碎和小晶圆尺寸的选择性处理等先进操作。ODC-1402BEW能够执行各种过程,如溅射沉积、蚀刻清洁、光刻涂层等。每个步骤都可以独立确定和操作,在用户友好的控制软件中具有工艺时间、厚度、温度等参数和更多的预设。该工具旨在最大限度地提高吞吐量,产生高产量和优质产品。DAN-TAKUMA TECHNOLOGIES ODC-1402BEW还可以配备一系列附件,将资产定制到特定的应用程序。其中包括远程等离子体源、集成的净化和排气模型以及用于硬烤应用的冷却设备。ODC-1402BEW采用工业级铝和不锈钢框架建造,额定在半导体洁净室环境中运行。它旨在轻松集成到现有的生产系统中,工厂提供了一系列配置选项,并根据要求提供了自定义配置。Dan-TAKUMA TECHNOLOGIES ODC-1402BEW得到Dan-TAKUMA TECHNOLOGIES卓越客户服务和技术支持团队的支持,确保您的投资保持强劲。ODC-1402BEW是一个先进但成本效益高的机器人晶片加工系统,能够以令人印象深刻的吞吐量生产出高质量的产品。
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