二手 ABM ABM-60 #9222282 待售

ABM ABM-60是一种用于制造VLSI电路的光刻设备。利用电子束将光致抗蚀剂曝光，在基板上形成纳米级图桉。电子束通过可编程的偏转器系统引导穿过基板，可以控制该系统以精确地在x、y、z方向移动光束，以及向基板施加大量电流。这样就可以精确设计具有极紧公差的特征。ABM-60中使用的光致抗蚀剂是专门为处理高剂量电子暴露而设计的，在制造过程中既耐化学蚀刻，又耐氧化。而且，多种不同的光刻胶材料可以结合使用，创造出广泛的设计特征。光刻胶也可以使用多种化学处理方法开发，使使用者能够控制固化时间并製造複杂的形状。ABM ABM-60还包含一个自动化软件包，允许用户将电子束的特征和参数编程到单元中进行处理。这为工业用户定制光刻提供了一个灵活的平台，有助于减少循环时间并保证可重复性。此外，ABM-60还具有一个真空室，它具有两个功能：提供清洁和粒子控制的环境，以及帮助加热光刻胶。该单元可容纳直径达8英寸、深度达17英寸的基板，使其具备处理大型复杂电路的能力。ABM ABM-60由于其高精度的结果、自动化的软件和坚固的结构，是制造VLSI电路的理想机器。它经常被用于航空航天和半导体工业中，在这些工业中必须以极高的精确度处理特征。