二手 ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-702 #9156022 待售

ADVANCED SPIN Equipment INC/ASSI SV-702 Photoresist System是为生产集成电路而设计的高性能开发单元。该机器利用专利的旋转涂层工艺来制造薄膜抗蚀剂图桉。自旋涂层工艺是一种高效的方法，可以在基板上涂覆多种材料，包括光致抗蚀剂。该过程需要在涂抹光刻胶材料的同时在两个镜子之间旋转基板，然后在干燥前对湿的抗蚀剂进行光处理。ASSI SV-702工具旨在最大限度地提高生产产量,确保质量一致,并最大限度地减少浪费。ADVANCED SPIN ASSET INC SV-702模型具有多种功能,可针对单个薄膜或基板类型定制工艺。这包括一个旋转台，用于旋转盒式磁带支架以配合薄膜涂层，一个非常低的浸入式石英喷嘴，以有效地抵抗输送和均匀性，以及一个可调节的底片夹，以实现可重复和精确的对准。该设备还具有可远程控制的接口,使用户能够通过以太网远程运行系统。SV-702单元还包括分析图像和打印过程结果的强大功能,例如显微镜图像、横截面、光谱剖面、显影剖面和干膜厚度。这些功能使用户能够为每个单独的胶片类型精确设置最佳工艺条件。这包括设定最佳自旋速度、基板夹紧压力以及材料湿度参数的能力。可以调整这些参数以匹配每个可重复结果的进程。该机具有集成的数据记录器，用于跟踪过程稳定性和质量控制。这允许用户在很长一段时间内监视配方和流程参数以进行高级流程管理。该工具还包括一个先进的控制资产，以实现优秀的注册和对齐多个膜之间。总体而言，ADVANCED SPIN MODEL INC/ASSI SV-702光刻设备是集成电路快速发展的先进工具。该系统旨在最大限度地提高产量，确保质量一致，最大限度地减少浪费。它具有旋转速度的精确调整、湿度参数和高级流程管理的高级数据记录功能。该设备还具有一个可远程控制的界面,用户可以远程运行计算机。ASSI SV-702 Photoresist Tool非常适合集成电路的生产应用。