二手 ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-702 #9358968 待售

ADVANCED SPIN Equipment INC/ASSI SV-702光阻系统是制备高质量测量样品的革命性工具，专门设计用于与最新的光电半导体器件配合使用。该单元采用先进的自旋涂层技术，使用户能够将光致抗蚀剂薄膜沉积在厚度范围广泛、均匀性极好的基材上。机器包括一个自旋涂层室、一个分配站和一个后烘烤站，所有这些都可以与现有的工艺集成。旋转涂层室的独特设计提供了一个均匀的旋转场，允许在应用时抵抗材料的均匀分布。与其他自旋涂层工艺相比，这可以改善膜的厚度和均匀性。该室由两级室、基板架和真空子室组成。腔室设有自动控制阀，可实现精确的旋转速度和真空设置，以获得最佳效果。分配站包括一个多头泵，用于在基板上分配精确数量的抗蚀剂。此设置可实现准确的过程监视和控制,并减少了运行到运行时抵抗厚度变化的可能性。泵可处理各种粘度和体积，允许同时应用紫外线和电子束抗蚀剂。烘烤后站设计为提供自动统一的烘烤后温度管理工具。该站保持精确的温度设置，用于基板的烘烤后加工，使厚度和薄膜均匀性在整个一批设备。烘烤后站利用较高的传热速率，确保烘烤后过程完成后样品快速冷却。ASSI SV-702光刻资产是现代半导体和光电器件制造的有力工具.该模型允许应用具有优异均匀性和精确度的光刻胶，而后烘烤站则可实现均匀的抗厚度和均匀性。该设备是制备任何精密测量试样的可靠、通用的工具。