二手 ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-702 #9397635 待售

ADVANCED SPIN Equipment INC/ASSI SV-702是设计用于商业光刻工艺的先进光刻系统。该单元具有多轴旋转器和具有精确图像注入功能的旋转表，使精确和可重现的图像具有出色的分辨率。它设计用于各种光刻胶，能够实现亚微米分辨率的模式。旋转器利用最大转速为20,000 rpm的高速电动机，能够旋转各种最大直径为550 mm的旋转器。旋转器提供精确的自旋时间和减速控制，以确保可重现的结果与最小的光阻损伤。旋转器还配备了真空室，以减少旋转时间和减少涂层时间。旋转台装有集成的索引机，使晶片在旋转器中精确对准。该表能够以120 rpm的最大旋转速度旋转晶片，并能在一次旋转中产生高达48的索引数。该表还具有防止过度涂层的自动停止功能。该光刻工具配备了可重现图像投影的精密图像注入资产。它具有一系列高精度透镜和增强的激光模型，使精细结构的精确曝光。该机器还能够实现批量和单次曝光过程。ASSI SV-702适用于商业和工业光刻需要.它为用户提供了一个可靠、可复制和高效的光刻设备，具有先进的特点和出色的分辨率。