二手 ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-702 #9397636 待售

ADVANCED SPIN Equipment INC/ASSI SV-702 Photoresist System是一种先进的工业级光刻装置,专为大体积晶圆光刻和自旋涂层工艺而设计。这台机器能够提供精密，高分辨率的结果在各种纺纱涂层膜，基材和材料。ASSI SV-702具有一个可容纳多达8个旋转单元的基础平台和两个用于基板居中安装的对齐凹槽。这个平台由触摸屏显示器控制，允许精确的程序设置。平台的自旋压力和速度可以调节到各个层次，平台具有较低的安装高度，适合广泛的光刻应用。该工具配有各种工具，用于精确、大体积的旋转涂层工艺。它包括一个自动注射器，一个加载的注射器旋转木马，一个数字桨和一个符合人体工程学设计的旋转装置。注射器扩展器允许用户选择所需的基板和旋转的确切数量，而注射器旋转木马则容纳各种注射器，以便在同一运行中使用不同类型的光刻胶。同时，数字桨提供了对基板运动速度的精确控制，以及对工艺时间的反馈。资产还配备了强大的光阻处理工具，如旋转室、掩模加载器和数字控制计时器。自旋室为光刻胶加工提供了一个干净的环境，允许快速的底物装卸，以及保护光刻胶免受环境的影响。遮罩装载机可以精确、均匀地将光刻胶加载到基板上，并且能够每次运行处理多个基板。数字控制计时器提供对光刻胶处理时间的实时监控，允许用户重复或排序多次运行的相同设置。这些功能使ADVANCED SPIN MODEL INC SV-702 Photoresist Equipment能够为各种光刻工艺提供精确、大容量的结果。该系统快速、灵活、易于使用,非常适合晶圆厂、铸造厂、集成设备制造商和大学。