二手 ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-802 #293656814 待售

ADVANCED SPIN Equipment INC/ASSI SV-802是一种光刻胶系统,设计用于在各种基板上旋转涂层并开发抗蚀剂。该装置能够在厚度均匀小于0.5微米的多种表面上涂覆光敏材料。它采用了均匀的自旋流动技术，以调节的速率将光敏材料施加到所需的基板上。这样可以确保在开发过程中均匀抵抗,并提供可重复和一致的性能。该机具有高性能的旋转头，可调节旋转速度高达2000 RPM，旋转范围为0-50 mL/min。它还具有可调的流量和均匀的自旋覆盖参数。为了进行精确控制，它提供了可调的自旋速度和定时参数，并且可以以1分钟为增量进行编程，以实现精确的抗蚀性沉积。光敏材料直接倒入旋转头，并用特殊泵加压，以达到一致的流量。然后将旋转头夹在基板上，并以可编程的速度旋转，从而使材料精确地涂覆。这也保证了光致抗蚀剂均匀地应用于整个表面。还包括RESI-Track软件,用于快速管理和开发过程。这包括用于快速对准的可编程视觉密钥、带有集成对准辅助工具的可调背光以及集成的高分辨率成像。该软件还与一系列高级成像和扫描工具兼容，为用户提供对其应用程序的微调控制。该工具是为长期使用而设计的，具有各种质量控制设置，如烘烤温度、烘烤时间、大衣时间和固化温度。它还配备了过温短路保护，以确保使用寿命最长，性能最佳。ASSI SV-802光刻资产是光刻、蚀刻和其他微加工工艺的理想选择。它提供了极薄、均匀的光刻材料涂层，设计用于快速、精确的设置。它是精确控制涂层和抗蚀性沉积的一个很好的解决方桉。