二手 ADVANCED SPIN SYSTEM INC / ASSI SV-802 #9358969 待售

ADVANCED SPIN Equipment INC/ASSI SV-802是一种光刻胶系统，专为提供步进重复光刻胶等薄膜聚合物材料的高效光刻处理而设计。该单元可以沉积具有高度精确曝光控制的薄膜感光聚合物，同时提供广泛的自旋涂层速度和轨道角。ASSI SV-802机器还支持复制过程,如光刻图样、图样复制和晶圆传输。该工具的高效光刻工艺是通过其精密的元件级旋转涂层实现的。这款自旋涂层能够一次占用多达4个基板，并配有用于均匀自旋涂层的大容量精密齿轮驱动电动机，使其能够提供精确的曝光控制。自旋涂层也由现代PLC控制，以确保可重复和一致的涂层过程。资产还可以沉积多种性质不同、涂层厚度不同的聚合物。ADVANCED SPIN MODEL INC SV-802的进阶影像控制闸门可以精确处理分辨率高达200 nm的基板，而其轨迹角可以在每边0至180°之间调整。此外,设备的多个曝光源、精确计数器和边缘定位设备可提供高精度、重复性和速度。SV-802系统还配备了独特的后侧洪水暴露单元，可用于后侧过程或部分覆盖基板。该单元还可以精确地对齐和解析基板所需的图样。ADVANCED SPIN MACHINE INC/ASSI SV-802的高级功能使其成为薄膜光刻制造过程中的一系列步骤的理想选择,从抗涂层到复制。它也是一系列工艺的理想选择，如半导体制造、有机和无机薄膜生产、液晶器件生产等。ASSI SV-802具有广泛的特性和准确、精确的结果,是一种功能强大且可靠的光刻工具。