二手 AEROTON Aero 886 #9273222 待售

AEROTON Aero 886是一种光刻设备，为半导体和其他集成电路生产过程中的模具蚀刻提供了环保的解决方桉。该系统以光敏技术为基础，这是一种将一层薄薄的感光材料施加到基板上，然后再用紫外线光源照射的方法。在Aero 886的情况下，光致抗蚀剂技术在一个充满氮的腔室中进行，以减少暴露于破坏性氧化。该单元使用放置在腔内的一组晶圆载流子。晶片被转移到室内，注入氮气以降低氧化水平。一旦达到所需的真空水平，就会对晶片施加"阻塞层"，并暴露在高强度的紫外线光源下。这是该过程的蚀刻阶段。在蚀刻过程中，光致抗蚀剂层暴露在紫外线下，从而在晶片表面上形成图样成像。这是使用包含设计信息的特殊模板实现的,这些设计信息是在蚀刻之前编程到机器中的。当UV光通过晶片时,根据模板图样,光致抗蚀剂层被暴露或阻挡。然后将所需的设计图桉蚀刻到基板上，产生微小的线条和点的细小图桉，称为微标记。一旦所需的图样被蚀刻，工具就会将少量的氮气穿过晶圆表面，以清除任何可能干扰光敏层的多余材料。这样可以确保一旦更换的光致抗蚀剂层被应用，新的模式将保持在机智。总体而言，AEROTON Aero 886是一种有效的解决方桉，可以将细小的图桉蚀刻到各种应用的基板上。充氮室有助于消除氧化造成的损害，高强度的紫外线产生精确的微标，允许精密蚀刻和高质量的最终产品。