二手 AIO 603-4 Sonic Fog #9124425 待售

AIO 603-4是Sonicate光刻胶系统的一个变体，在研究背景下为高质量的光刻而设计。它能够产生极小的线宽到10nm的精确特征，允许它在MEMS和显示器等应用中用于亚微米阵列。该单元包括一个以248nm波长发射的激光源，它被定向到基板上。激光以极高的速度关闭，以控制光刻胶的曝光。激光被调制，允许不同波长和强度的多次通过，使用户可以优化图样区域的分辨率。该单元还能够执行非常低的能量暴露模式,允许非线性模式,以便可以以更高的强度对大型特征进行阵列处理,而以较低的强度对小型特征进行阵列处理。AIO 603-4在基板上还有一层防反射涂层，有助于减少激光束的散射，帮助保持光束聚焦，并允许更窄的线宽。AIO 603-4还带有一个精密的Z级，用于相对于激光源定位基板。它用于确保激光束与基板正确对齐，以确保精确、可重复的图样。该装置配备了用于曝光和开发光刻胶的自动化系统，有助于保持光刻工艺的快速和准确。开发和剥离能力允许在基板上开发多种模式，而无需手动清洗。最后，AIO 603-4声波雾为高质量光刻提供了良好的图样设计。其生产线宽极小的特性的能力,以及自动曝光和开发系统,使其非常适合需要亚微米阵列的应用。