二手 AIO / RITE TRACK SVG 90 #293775031 待售
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ID: 293775031
晶圆大小: 6"
Coater / Developer system, 6"
FTC Cabinet
Main power GP Cabinet
SVG GUI Rack controller cabinet
SVG Chemical cabinet
Chemical waste tank
Wafer centering module
(2) Coat modules
(2) Develop modules
(2) Load ports
HMDS Module
(3) Bake oven modules
(4) Chill plate modules
Qty / Description
(16) / Shuttle bearings, SVG, linear 200-595
(4) / Belt timing SVG Dev dispenses ARM 6B16-37
(3) / Tebr cables chain,4MM Pitch 1.2O PD
(4) / Cable chains, 103 Pitch (Belt) 204-020
(2) / Spin station boards
(1) / Thermalogic temp control board / 121-180
(1) / Shuttle interface board 99-80267-01R
(1) / Assy, thermo cutoff 99-23226-01
(1) / Motor, random shuttle drive 99-45467-01
(1) / Motor gear harness 99-47222-01
(1) / Marathon motor mod 5KH32GNB811AX
(1) / Motor, spindle, 90S air assist 27-66286-01
(1) / Sensor, cassette
(3) / RTD, 3 Wire 1/8 sheaths
(5) / Optical sensor transmissive 0.512 (13MM" Z3204-ND
(4) / PCB Assy, 80158 Single sensors SVG 99-80158-01
(1) / Cybor pump controller 506A
(2) / Hot bake temp controllers
(4) / 24 VDC Solenoid 114-1003
(4) / 24 VDC Solenoid 50 PSI 99-38539-01
(3) / Sprng, tors .048X270DEG 2.5IN LBS 211-150
(4) / Exhaust tube poly-bake 9.5 13287-01
(2) / Chuck, 90, Coater, 8"
(2) / 21190-01
(4) / Kit, flowmeters 17-76280-01
(2) / Nozzles 2257-01
(2) / Cassette end station vacuum blades, short
(3) / PIN, Centering devices 20770-01
(4) / PIN, Supporting 20769-01
(2) / Cassette shuttle vacuum blades, LONG 99-41467-02
(19) / Fuses 500 MA F2450-ND
(1) / Vacuum bake thermocouple 121-208
(2) / Top side EBR Motor harness tebr 99-39825-01
(3) / Cybor 5116 pumps
(2) / Procon pumps 105C240F51BD
(1) / Flow meter 65MM EBR 1350GAL1AKFF1AAA
(8) / Boat, entegris (8") K198-80MB-97C02
(4) / Solenoid valve assembly 99-23062-01
(3) / Vacuum solenoid, 24VDC 114-088
(4) / KIT, Humphrey valves, 4WAY, 2POS, 24VDC 17-77246-01
(1) / Power supply board 99-80268
(4) / Cable chains, 88 pitch 204-021
(3) / 24 VDC Solenoid 2WAY VALVE 114-102
(1) / SCR Power controller
(1) / Hygroclip HC2-S standard climate probe
(1) / Spindle motor controller 99-38892-01
(1) / Spindle motor controller 99-38891-01
(2) / Serial arm full assemblies 99-38154-02
(2) / Motors DC Servo 75V 1.5A 112-083
(2) / Pistons 203-148
(1) / Keyboard 90S CES 85-48094-01U
(1) / Chamber LID VP/VB/HPO
(1) / Rotronic humidity transmitter
(1) / Assy, LCD Display 99-41844-01
(1) / PCB Assy,vacuum sensor 99-80170-01
(6) / Stations CPU BD 80166F.
AIO/RITE TRACK SVG 90是一种在半导体製造业中扮演关键角色的尖端光抗蚀剂设备。该系统旨在为晶片基板上的光刻材料提供精确可靠的图样，从而能够以高精度和高分辨率制造复杂的半导体器件。AIO SVG 90集成了各种先进技术和功能，以支持半导体制造所涉及的复杂光刻工艺。RITE TRACK SVG 90单元的关键部件之一是轨道模块，负责晶圆表面的分配、涂层、烘烤和开发光敏材料。履带模组设有多个自旋涂层，可让不同厚度的光刻胶膜均匀受控沉积。该机还包括用于烘烤和冷却涂层晶片的热板和冷却板，确保了最佳的薄膜性能和附着力。SVG 90工具融合了先进的自动化和机器人技术，以简化光刻胶处理工作流程，最大限度地提高生产效率。该资产配备了高精度的对准定位机制，以确保多个光刻步骤的准确迭加和定位。此自动化级别有助于减少制造过程中的人为错误和可变性,从而提高产量和设备性能。此外,AIO/RITE TRACK SVG 90型号还提供了一个全面的软件套件,使用户能够对光刻工艺的各种参数进行编程和控制。该软件允许对关键过程变量进行实时监控和调整，如旋转速度、分配体积和烘烤温度，以达到最优的光刻胶图桉效果。此外，该设备能够生成详细的流程报告和数据日志，用于质量控制和可追踪性目的。在性能方面，AIO SVG 90系统提供了高吞吐量的能力，允许对大批量晶圆进行快速高效的处理。该装置旨在满足大容量半导体生产设施的苛刻要求，在这些设施中，严格的工艺控制和一致性对于达到质量标准和生产目标至关重要。RITE TRACK SVG 90在实现亚微米特征的高分辨率阵列方面表现出色,能够制造具有复杂几何形状的高级半导体器件。总体而言，SVG 90是一台最先进的光刻机，它使半导体制造商能够实现精确可靠的光刻材料阵列，用于生产尖端的半导体器件。凭借其先进的技术、自动化能力和性能特性,AIO/RITE TRACK SVG 90在推动半导体技术和创新的持续发展方面发挥着关键作用。
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