二手 AIO SF 600 #9139571 待售

AIO SF 600
製造商
AIO
模型
SF 600
ID: 9139571
晶圆大小: 6"
AIO corporation IPA vapor dryer,6".
AIO SF 600是为开发敏感和大面积光刻工艺而设计的光刻设备。适用于正负光刻胶同时使用,允许金属图桉、布线、光刻工艺的精确发展。该系统由显影剂、曝光单元、冲洗单元、真空室四个截然不同的单元组成。开发者是一个两阶段的过程。第一阶段涉及将光刻胶溶液与显影剂精矿溷合,喷洒到基材上。这就产生了显影剂的有效浓度,从而确保了光致抗蚀剂的正确开发。第二阶段是润湿步骤,这是保证显影剂均匀均匀分布在基板上所必需的。曝光单元通过蒙版为光刻胶提供必要的曝光,允许对电路进行阵列化或应用适当的光刻工艺。其可调源和定制的曝光时间保证了高精度结果的短而均匀的曝光。其特别设计的镜头单元提供均匀的照明,最大程度的图案定义。冲洗装置设计用于最大程度地去除光致抗蚀剂,同时防止残留物的穿洞和堆积。它的智能控制确保了冲洗时间、压力和温度的精确调整,以实现最佳的光致抗蚀剂去除。该机组配备了内置的循环冲洗水机,以最大限度地提高效率和使用率。真空室有助于防止光刻胶在整个开发过程中流出所需的图样区域。其内置的可调压力和加热工具确保了真空的一致和准确的产生。可调加热有助于调节光刻胶的热流,使光刻胶更耐粘附或其他物理现象。SF 600是一种高度先进的光刻资产,提供精确度和精确度,可以完成任何光刻或蚀刻项目。它的特点使金属图样、布线和光刻工艺的高质量开发能够广泛应用。
还没有评论