二手 AIR BROWN SPD160RN #9258130 待售

AIR BROWN SPD160RN光刻设备是为现代光刻系统的卓越性能而设计的自动化系统。它提供了一个高分辨率和高精度的抗蚀层，可用于比较蒙版设计和阵列，用于要求苛刻的高级集成电路（IC）制造过程。这种光致抗蚀剂装置结合了先进而全面的一套光致抗蚀层材料和设备，如先进的基板传递阶段 （ASTS）能够精确控制光刻机中晶片的对准,以及先进的光刻传递工具 （ADDS）能够提供一致、准确的抗蚀层,用于IC设备的可靠阵列。SPD160RN光致抗蚀剂资产还采用了多种专门技术，以确保优越的空间曝光性能和可靠性。其中包括高速清洗技术（HCT）和高精度迭加技术（HOT）,确保高精度图桉和特征,以及激光对准技术（LAT）,以更高的速度和精度执行精确的对准操作。此外，该模型还结合了优化的形状匹配和自动校正对准特征（OMAC），有助于提高光刻胶图桉的精度。此外，这种光敏设备还利用先进的光学透镜系统，确保光在每个像素处具有最大强度，在每次曝光时提供更高的精度和均匀性。这也允许改进对光学参数的控制，以便在要求苛刻的光刻应用中实现卓越的分辨率。该系统还配备了先进的光刻工具和软件，如设计用于简化光刻工艺的高级建模套件（AMS），以及自动检查模式质量并检测任何缺陷的先进模式性能监测单元（APPM）。机器中的其他功能包括快速对齐过程、提高图样精度的优化算法，以及具有flexo-LIGA能力的支持，以确保纳米尺度的精确图样生成。总之，AIR BROWN SPD160RN光刻工具以其全面的特点和技术，为光学光刻系统提供卓越的性能。其先进的材料、设备和软件提供了一个光刻层,可提供可靠、准确的IC设备阵列,以及卓越的分辨率和均匀性,可用于要求苛刻的光刻应用。