二手 ALLTEQ L1600 #293748752 待售

ALLTEQ L1600是为满足半导体制造的严格要求而设计的高精度自动化光刻设备。该系统采用紧凑的占地面积设计,为众多应用提供了多种离轴照明工具,如晶圆扫描、5倍还原扫描、暗场扫描和4倍还原成像光刻。L1600单元利用了最先进的CCD数字成像机,可以高速、精确地获取图像数据。该工具还包括一整套晶圆位置监控、温度控制和自动对焦功能，以及各种光刻模式、项目模式和软件控制功能的选项。该资产提供了广泛的曝光分辨率,范围从¼-µm到4 µm,以及全场、µm动态聚焦深度（DOF）控制。此外，该型号还提供高对比度成像和高分辨率、高精度的蚀刻能力，方便6英寸晶圆的生产过程。该设备还具有四个大孔径设计目标，能够在广泛的波长范围内提供高达0.3 µm的DOF。此外，该系统与多种图像处理和图像强化算法完全兼容，能够同时控制多个艺术文件和多个曝光头。最后，ALLTEQ L1600采用了先进的校准技术，能够自动校准化学反应堆和相关的灯，从而实现快速的工艺优化。集成扫描单元在整个过程中为亚波长精度提供实时聚焦监控，在生产过程中节省宝贵的时间和资源。