二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Raider ECD 310 #9202573 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS RAIDER ECD 310是一种用于先进光刻应用的光刻设备。它为设备制造提供了最高的精度和准确性,提供了制造高性能电路、内存和大规模集成电路所需的精确分辨率和临界暴露条件。AMAT Raider ECD 310利用氦镉准分子激光源发出的深紫外线（DUV）辐射，能够产生248-308 nm范围内的波长曝光。它能够提供最先进的光刻应用所需的强烈曝光。该系统的光学器件精确对齐，以便在焦点、场平面度和远心率等关键成像参数上精确。高速镜像扫描仪可提供卓越的图像保真度和帧对帧稳定性。精密的扫描仪设计可提供高达915 nm的分辨率,使您能够精确关注最具挑战性的电路模式。光致抗蚀剂单元可确保涂抹在基板上的各层厚度均匀，从而实现精确的临界尺寸控制，并产生接近完美对齐的完美图像。该机配有集成喷涂站，便于光刻胶的均匀应用和有效的表面覆盖。包括激光、曝光膜和扫描仪在内的初级和次级光学元件都被封闭在一个单独的腔室中，用于环境控制。这通过提供稳定的热环境来确保最大的光刻精度，同时最大限度地减少因化学反应引起的变化。APPLICED MATERIALS Raider ECD 310是一款非常适合大容量制造和关键设计应用的工具。它为创建超精细几何形状提供了业界领先的分辨率和曝光精度,因此被证明是生产世界上最先进的电路的重要工具。