二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Raider ECD #9197689 待售

AMAT/APPLICED MATERIALS Raider ECD是一种先进的光刻设备,能够实现卓越的光刻应用。该系统基于正音、电子束敏感的光致抗蚀剂单元，具有较高的分辨率、较低的排泄率和提高的耐碱性。它针对各种前端和后端处理应用程序的性能进行了优化。AMAT Raider ECD所使用的光致抗蚀剂由硅树脂、PMMA等添加剂的正电阻材料组成。抗蚀剂对电子束敏感，对紫外线、X射线、电子束等曝光过程极为敏感。抗蚀剂通常使用自旋涂层工艺沉积在半导体晶片或其他基板上。光刻机具有两大功能：一是与目标层建立接触，二是在加工过程中保护底物。APPLIED MATERIALS Raider ECD可以通过其两层工具完成这两项功能。第一层称为基抗剂，而第二层称为键合层。底座抗蚀剂在处理过程中提供保护,并降低反射率。它是一种强大的机械和化学屏障，可保护底层底物免受污染，并防止暴露于清洁室内环境，如酸、碱、溶剂、蚀刻剂等。碱基抗蚀剂还充当粘合层的粘合剂，粘合层是在暴露于光致抗蚀剂后形成的。键合层是光致抗蚀剂层的一个不受影响的部分,在阵列化过程完成后,该部分仍附着在目标层上。该层有助于最大限度地减少接触和氧化物掩蔽缺陷，从而使基板具有更好的分辨率和更好的附着力。入侵者ECD资产为各种基材和晶圆技术提供了卓越的电阻率和附着力。具有良好的边缘清晰度，提高了开发后的整洁性和均匀性。该型号也极快，对其他光刻胶系统表现出优越的速度和吞吐量。AMAT/APPLIED MATERIALS Raider ECD设备旨在优化半导体和MEMS设备分包中各种工艺的性能。它可以与一系列材料一起使用，包括铜、铝和硅质法拉第笼子、氮化硅和锡氧化物。该系统还与电镀工艺兼容，在填充、平面和均匀性方面提供了优异的效果。总之，AMAT Raider ECD装置是一种先进的光致抗蚀剂溶液，具有较高的分辨率和较低的排泄率，同时提高了对碱性显影剂的耐药性。本机是光刻加工的绝佳选择，具有优越的边缘清晰度、优越的速度和吞吐量，以及出色的电阻率和对各种基板的附着力。