二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Raider #9260103 待售
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ID: 9260103
晶圆大小: 6"
优质的: 2016
System, 6"
Model no: RE10O2ECD0604
ECD for SiC wafers, 6" (Bridge, 8")
(10) Chamber raiders: Cabinet / Frame
2-Position cassette: WIP
Raider automation and control system
Pre-aligner
Spin rinse dry chamber
DYNATRONIX Power supply for plating chamber
SMC Chillers
CFD3 Plating cells:
(2) XX Platings
(2) XX Strike platings
Process tanks:
(2) XX Baths
(2) XX Strike baths
No auxiliary equipment
2016 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Raider是一种光阻设备，旨在方便在晶片上产生可重复和高精度的特征。该系统专门设计用于在一系列材料上实现特征开发,例如氧化物、氮化物和高k电介质。由于其特征大小和放置精度,该单元提供了尽可能高的可重复性和可重复性精度。该机还具有0.5 μ m的成像可重复性，并允许0.18 μ m的特征开发分辨率。此外，该工具的分辨率和速度可以定制，以适应用户的生产需求。AMAT Raider由两个主要组件组成：一个Aseptix Commander和一个Matik Photorest Asset。Matik型号是集成到Aseptix平台的先进模块化光刻设备。该系统采用从上到下的掩码方法实现功能开发,并使用户能够应用数字阵列技术。该单元还提供了多种其他功能,使生产过程更轻松。这些功能包括用于定位基准标记的自动规划程序、用于设置最佳曝光条件的自动调整功能,以及用于提高成像精度的自动对焦机。此外,该工具还提供了一个闭环自动化流程,无需手动干预。APPLIED MATERIALS Raider资产非常适合各种功能开发要求。其高分辨率、高精度等特点使其成为制造高性能微电子元件的理想解决方桉。此外,它的自动化功能减少了生产时间和成本,同时还提高了功能开发的可重复性。这使得Raider成为生产高质量微电子器件的必要工具。
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